纳米抛光浆料

        纳米抛光浆料是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂，具有良好的去油污，防锈，清洗和增光性能，并能使金属制品超过原有的光泽。纳米抛光浆料具备性能稳定、无毒，对环境无污染等作用。

        我国纳米抛光浆料主要应用于石材、LED、集成电路等领域，其中集成电路的快速发展推动了我国纳米抛光浆料的需求增长。 化学机械抛光技术是集成电路生产工艺的重要组成部分。随着器件特征尺寸的不断减小，对CMP技术在抛光缺陷，抛光工艺可控性、一致性等方面提出了更高的要求。CMP抛光材料包括浅沟槽隔离、多晶硅、二氧化硅介电层、钨、铜、阻挡层用抛光液和抛光垫(pad)和修整盘等。